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在我们实验中研制了一种能够在微型空心光纤中产生等离子体的装置,经过测量电压和电流的波形表明,在大气压条件下产生的微等离子体的电流脉冲宽度可达到几个微秒。这些测量数据表明在大气压条件下空心光纤中产生的辉光微等离子体有助于在光纤内壁均匀的沉积氟碳薄膜。利用C4F8和He (1/99)的混合气体放电产生的等离了体经过光谱仪检测发现有多种碳的混合物,例如CF2、CN、C2等。