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研制了一种电容式硅加速度传感器。敏感器件采用先进的微机械加工工艺,有效地提高了加工精度, 降低成本,减小体积和重量。给出了该器件的结构和工艺设计,给出了中心极板和固定极板的加工工艺流程。研制的传感器具有一定的实用性,并已经得到验证。该器件在高端加速度信号检测,如武器制导方面有很好的应用前景。
电容式硅加速度传感器的研制
【摘 要】
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研制了一种电容式硅加速度传感器。敏感器件采用先进的微机械加工工艺,有效地提高了加工精度, 降低成本,减小体积和重量。给出了该器件的结构和工艺设计,给出了中心极板和固
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院;
【发表日期】
：
2004年期
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