电子级八氟丙烷生产技术

来源 :2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zfjbjxw
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本文将从八氟丙烷生产工艺、工艺控制及质量控制、生产安全及环境净化三个方面进行介绍.其中,在八氟丙烷生产工艺中介绍了合成路线;在工艺控制中重点介绍了氟化过程和纯化过程的控制;在生产安全中将特别阐述氟气事故及突然停电所采取的应急措施.
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