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MBE外延生长中RHEED衍射图案采集系统的研制
MBE外延生长中RHEED衍射图案采集系统的研制
来源 :第五届全国分子束外延学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qyxiao3771
【摘 要】
:
该文介绍了研究人员自行设计和建立的与MBE相配套的高速CCD图像采集系统。
【作 者】
:
陈益栋
刘兴权
杜捷
陈亚骏
陆卫
【机 构】
:
上海技术物理所红外物理国家实验室(上海)
【出 处】
:
第五届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
MBE外延生长
RHEED衍射
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该文介绍了研究人员自行设计和建立的与MBE相配套的高速CCD图像采集系统。
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