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铜铟镓硒、铜锌锡硫硒等铜基薄膜太阳能电池制备过程中的硒化反应是器件制备的重要过程之一，对电池性能有重要影响。为了获得更可控的硒化反应过程，我们自主研发了硒化反应装置(图1(a))。该装置通过红外加热布局、加热室结构布局和气路布局结构设计等，实现了反应温度及其分布、舱室压强、硒蒸汽浓度的精确程序化控制(图1(b))，从而显著提高了工艺参数的准确性和可重复性。