【摘 要】
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本文介绍了一种基于平面环形微腔的芯片级高灵敏度加速度计设计,其原理是通过检测悬臂梁上环形谐振腔透射谱共振峰的频移来测量加速度的微小变化。我们从理论上系统分析由于
【机 构】
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中北大学动态测试技术国家重点实验室、仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051
【出 处】
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中国宇航学会深空探测技术专业委员会第五届年会
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本文介绍了一种基于平面环形微腔的芯片级高灵敏度加速度计设计,其原理是通过检测悬臂梁上环形谐振腔透射谱共振峰的频移来测量加速度的微小变化。我们从理论上系统分析由于微腔半径、局部折射率等变化引起腔中光程差改变从而导致自由光谱和相位变化与加速度变化之间的对应关系,并利用ANSYS软件仿真其结构的可行性。同时,利用BeamPROP软件模拟了平面环形微腔中的光谱变化。
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