【摘 要】
：
该文研究了应用新型的超高真空等离子增强化学气相沉积(UHV-PECVD)复合系统沉积a-SiC:H薄膜及其特性。系统的真空度可达标10Torr以上。通过控制H对常规用混合气体(SiH+CH)的
论文部分内容阅读
该文研究了应用新型的超高真空等离子增强化学气相沉积(UHV-PECVD)复合系统沉积a-Si<1-X>C<,X>:H<,K>薄膜及其特性。系统的真空度可达标10<-9>Torr以上。通过控制H<,2>对常规用混合气体(SiH<,4>+CH<,4>)的稀释程度以及相应的CH<,4>比例，优化沉积工艺参数，制备出能带宽度范围变化较大的高质量非晶氢化硅碳(a-Si<1-X>C<,X>:H<,K>)薄膜。通过RBS、ERDA、IR和Ramam光谱等方法分析和确定这种薄膜 材料的基本特性。对H<,2>氢衡释作用及其效应进行了分析。
其他文献
节能是建筑给排水节能工程的关键.概括的说,它的节能技术的应用主要体现在两个方面,一方面是旧有设备的改进,另一方面是充分利用自然资源,开发绿色能源.本文就节能技术在建筑
对生产实际中使用的一根带水套超高压自增强管道进行了水压试验过程的声发射监测，考虑了各种因素对检测的影响，对检测数据进行了详细的分析，并结合自增强理论，初步总结出了利用声
目的:从临床应用角度分析磷酸钙骨水泥(calcium phosphate bone cement,CPC)/聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)骨水泥在老年骨质疏松性胸腰椎骨折患者椎体后
我国现有174.3万平方千米沙漠化土地面积,且沙化土地面积还在不断扩大,目前实行“乔、灌、草”相结合的沙漠生态防护体系,因为投入不足和水分紧缺等原因难以获得良好效果.
4月16日 我国第四只开放式基金——国泰金鹰增长证券投资基金正式公开发行,它由中国交通银行托管和发行,单位面值1元。
On April 16, China's fourth open-end fund, Catha
目的:探讨孕产妇不良妊娠结局与月经史和生育史的相关性,为降低不良妊娠结局发生率提供指导.方法:运用回顾性队列研究方法,选取2010-2017年云南省保山市接受过国家免费孕前优
正在设计中的上海同步辐射光源(SSRF)准备用钛升华泵作为主抽泵，大抽速钛升华泵作为预研项目之一。我们研制了一个增大钛吸收面的钛升华泵，其钛膜面积达4200cm，较普通相同尺寸的
以SO/FeO固体超强酸为催化剂合成了乙酸异戊酯，确定了酯化最佳条 件。实验结果表明，该催化剂的催化活性高，可反复使用，反应条件温和，方法简便。