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超光滑表面反射镜是激光陀螺的关键部件，研究其制作和检测具有重要的应用价值，该文介绍的积分散射仪具有二维自动扫描测量功能，能测量出表面均方根粗糙度和均方斜率，具有很强的实用性。
激光陀螺中高反膜片及其片表面的积分测量
【摘 要】
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超光滑表面反射镜是激光陀螺的关键部件，研究其制作和检测具有重要的应用价值，该文介绍的积分散射仪具有二维自动扫描测量功能，能测量出表面均方根粗糙度和均方斜率，具有很强的实
【机 构】
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科技大学二系
【出 处】
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中国惯性技术学会光电技术专业委员会第三次学术交流会
【发表日期】
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1998年6期
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