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分析了基于MEMS技术的三轴加速度芯片ADXL330的工作原理和结构，设计了基于ADXL330的三轴振动加速度传感器的电路原理、PCB板和外壳结构，研究了其标定方法和应用技术.现场应用表明，应用该传感器芯片构成的三轴加速度传感器能够满足振动监测的需要，具有低成本、高精度、易标定和安全可靠等特点。