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基于压电悬臂梁的仪器化微纳米压痕系统
基于压电悬臂梁的仪器化微纳米压痕系统
来源 :第十四届全国实验力学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chjj1988mm
【摘 要】
:
本文提出了一种新型的仪器化压痕方法,该方法基于压电悬臂梁的电致弯曲来完成连续加载和卸载。所使用的悬臂梁下表面贴有压电片,上表面靠近固定端的地方设有应变片,梁自由端装有玻氏压头。
【作 者】
:
付际
李法新
【机 构】
:
北京大学工学院力学与工程科学系,湍流与复杂系统国家重点实验室,北京100871
【出 处】
:
第十四届全国实验力学学术会议
【发表日期】
:
2015年3期
【关键词】
:
纳米压痕
压电双晶梁
压入模量
在位测试
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本文提出了一种新型的仪器化压痕方法,该方法基于压电悬臂梁的电致弯曲来完成连续加载和卸载。所使用的悬臂梁下表面贴有压电片,上表面靠近固定端的地方设有应变片,梁自由端装有玻氏压头。
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