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<正> 加速度传感器能将加速度转换为电信号。本项目的主要目标是研制出实用化的高精度微硅加速度计用敏感器件。在硅加速度传感器的研制中采用了MEMS技术,这一技术通常指的是特征尺度大于1μm小于1mm,其主要原因是采用该技术可以实现批量化生产,而且器件的体积大幅度缩小,成本大幅度降低。
硅电容加速度敏感器件的研制
【摘 要】
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<正> 加速度传感器能将加速度转换为电信号。本项目的主要目标是研制出实用化的高精度微硅加速度计用敏感器件。在硅加速度传感器的研制中采用了MEMS技术,这一技术通常指的是
【机 构】
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沈阳工业大学;
【发表日期】
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2003年期
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