【摘 要】
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近年来，在射频等离子体放电中引入脉冲调制技术成为新的研究热点。与连续射频放电模式相比，脉冲调制放电可以降低基板温度，改善沉积和刻蚀速率，而且电源关闭以后，电子温度下降较快，等离子体中的负离子也可以逃离主等离子体区。所以对于电负性等离子体，可以减少基板电荷积累，还可以有效抑制不必要的尘埃颗粒生长。这些特点若被有效利用将有益于材料处理。
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院 大连116024
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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近年来，在射频等离子体放电中引入脉冲调制技术成为新的研究热点。与连续射频放电模式相比，脉冲调制放电可以降低基板温度，改善沉积和刻蚀速率，而且电源关闭以后，电子温度下降较快，等离子体中的负离子也可以逃离主等离子体区。所以对于电负性等离子体，可以减少基板电荷积累，还可以有效抑制不必要的尘埃颗粒生长。这些特点若被有效利用将有益于材料处理。
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