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本文运用X射线衍射的动力学理论模拟了近完整的InP晶体以及碲镉汞外延材料的X射线三轴衍射摇摆曲线.模拟结果表明InP单晶的三轴摇摆曲线能很好的理论拟合,而对于非完整单晶碲镉汞外延材料,运用所建立的模型也能够很好的理论模拟.研究结果也表明,高分辨X射线衍射的计算机模拟是评价材料晶格完整性一种非常有效的方法.