【摘 要】
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微量气体杂质定量分析在许多领域都非常重要，例如光谱学、化学分析、医疗诊断、环境监测和工业生产中的污染物控制等。半导体产业对高纯度气体的需求对气体供应商和分析仪器制
【出 处】
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2006全国低温与特种气体技术交流大会
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微量气体杂质定量分析在许多领域都非常重要，例如光谱学、化学分析、医疗诊断、环境监测和工业生产中的污染物控制等。半导体产业对高纯度气体的需求对气体供应商和分析仪器制造商提出了巨大挑战。这个挑战要求微景气体分析仪不仅应具有高灵敏度、准确度和快速响应速度，而且要能够经受腐蚀性气体。本文介绍了可以满足上述要求的光腔衰荡光谱，并就其原理、优势等内容作了阐述。
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