自组织生长InGaASGaAs量子点超晶格的研究

来源 :全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lsp110
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研究人员利用分子束外延技术自组织生长了40周期低组份InGaAs/GaAs量子点超晶格结构。透射电镜表明,量子点沿生长方向的分布存在着两种不同的区域:完美的垂直对准区域和不严格的垂直对准区域,这种沿生长方向分布的有序性与初始层量子点的分布密切相关。量子点纵向序列的合并、消失与增生是量子点分布有序,均匀一致的主要机制,随着超晶格层数的增加,量子点趋向于沿生长方向的垂直对准,量子点的尺寸与分布也趋向均匀一致,样品不同厚度的PL谱进一步认证了这一点。
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