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本文的重点是研究厚光刻肢光刻图形之分辨率、边缘轮廓角与光刻肢厚度及曝光间隙之间的关系,并对实验研究结果作了较为详细的分析和总结.
用于微细加工中的厚光刻胶的曝光性能研究
【摘 要】
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本文的重点是研究厚光刻肢光刻图形之分辨率、边缘轮廓角与光刻肢厚度及曝光间隙之间的关系,并对实验研究结果作了较为详细的分析和总结.
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心,200030
【出 处】
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上海市真空学会第七届学术年会
【发表日期】
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2000年期
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