【摘 要】
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本文采用溶胶凝胶旋涂工艺在制绒后的单晶硅片表面制备了ZnO减反射薄膜,采用锌离子浓度分别为0.6mol/L和1.0mol/L的两种不同溶胶,涂敷了不同的厚度的ZnO薄膜。用XRD,紫外可见光谱,反射率分析等方法对ZnO的结构和光学性能进行表征。结果表明:在制绒硅片上制备的ZnO减反射膜没有出现择优取向,该ZnO薄膜能够使制绒后的硅片在400nm到1000nm波长范围内的平均反射率降至2.16％。
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏,南京,210016 南京沙宁申科技开发有限公司,江苏,南
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本文采用溶胶凝胶旋涂工艺在制绒后的单晶硅片表面制备了ZnO减反射薄膜,采用锌离子浓度分别为0.6mol/L和1.0mol/L的两种不同溶胶,涂敷了不同的厚度的ZnO薄膜。用XRD,紫外可见光谱,反射率分析等方法对ZnO的结构和光学性能进行表征。结果表明:在制绒硅片上制备的ZnO减反射膜没有出现择优取向,该ZnO薄膜能够使制绒后的硅片在400nm到1000nm波长范围内的平均反射率降至2.16％。
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