半导体和TFT生产中的洁净室静电控制和空气电离

来源 :第十八届国际污染控制学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyr2007
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作为IT工业的主要支柱,半导体集成电路和薄膜晶体管显示器(TFT)的最关键和重要的制程都是在洁净室内完成.洁净实内恒定的温度和湿度控制,使得物体表面的静电荷既容易产生又容易长时间的维持和积累.而高静电,会导致微粒污染,静电放电破坏以及电磁干扰等问题.随着制造技术的不断发展,产品对静电放电的敏感度也越来越高,如何控制静电和消除静电带来的问题,已成为一项挑战.
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