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会议论文
μTAS微通道工艺技术研究
μTAS微通道工艺技术研究
来源 :四川省电子学会传感技术第十届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kwatog
【摘 要】
:
本文阐述用光刻、湿法腐蚀和键合等微细加工技术进行微全分析系统中微通道的研制过程。采用SU-8胶和硅材料制作出了作为聚二甲基硅氧烷的母模板。在优质玻璃材料上制作出微通
【作 者】
:
吴嘉丽
武蕊
【机 构】
:
中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
:
四川省电子学会传感技术第十届学术年会
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
微通道
聚二甲基硅氧烷
微细加工技术
微全分析系统
材料制作
湿法腐蚀
键合
玻璃材料
模板
光刻
工艺
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本文阐述用光刻、湿法腐蚀和键合等微细加工技术进行微全分析系统中微通道的研制过程。采用SU-8胶和硅材料制作出了作为聚二甲基硅氧烷的母模板。在优质玻璃材料上制作出微通道,并完成微通道的工艺键合。
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