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该论文摘要集主要论述了六个大问题,它们是:电子材料的分析;薄膜的研究;真空技术;真空技术的应用;电子器件工艺及电子器件的应用。电子材料分析中主要讲了电子材料的表面分析,薄膜研究中讲了仿金薄膜制作与局部仿金;超硬薄膜制备及特性研究;真空技术及应用中论述了真空系统的设计及真空泵的应用;电子器件及工艺中论述了几种电子器件设计及制造。(潘力如摘)