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多自由度超声电机是将两种以上的超声振动模式按照一定的方式组合,通过在定子表面的椭圆运动实现转子的多自由度转动。本文应用有限元的方法,设计和制作了一种能够实现多自由度转动的超声电机,给出了一种法兰盘结构,实现电机在工程中的应用。数据仿真结果表明:法兰盘结构的设计对超声电机频率和性能几乎没有影响,该研究为超声电机在自动化领域的应用提供了依据。