【摘 要】
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采用大气等离子喷涂技术(APS)制备氧化锆纳米涂层.运用SEM、TEM与XRD等分析手段对涂层的显微结构特点、物相组成进行了观察和确定.发现涂层由四方相氧化锆组成.涂层晶粒为等轴晶,堆积紧密,晶界清晰.晶粒具有两种显微结构,以尺寸分布在30-120 nm之间的颗粒为主,另一种为150-300 nm的大尺寸晶粒.在成功制备出氧化锆纳米涂层的基础上,测量了涂层的电学性能,结果表明氧化锆纳米涂层具有较大
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050
【出 处】
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2002年西部地区纳米技术与应用研讨会
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采用大气等离子喷涂技术(APS)制备氧化锆纳米涂层.运用SEM、TEM与XRD等分析手段对涂层的显微结构特点、物相组成进行了观察和确定.发现涂层由四方相氧化锆组成.涂层晶粒为等轴晶,堆积紧密,晶界清晰.晶粒具有两种显微结构,以尺寸分布在30-120 nm之间的颗粒为主,另一种为150-300 nm的大尺寸晶粒.在成功制备出氧化锆纳米涂层的基础上,测量了涂层的电学性能,结果表明氧化锆纳米涂层具有较大的电阻率和较高的介电强度.
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