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利用ＲＦ磁控溅射方法，在不同基底上成功地外延生长了Ｙ－ＺｒＯ＜，２＞、ＭｇＯ、ＣｅＯ＜，２＞和ＮｂＮ隔离层薄膜。首先在Ａｌ＜，２＞Ｏ＜，３＞和硅衬底上获得了立方结构的α轴垂直于膜面的外延钇稳定的ＺｒＯ＜，２＞薄膜，并利用ＺｒＯ＜，２＞、ＭｇＯ、ＹＢＣＯ和ＳｒＴｉＯ＜，３＞在外延平面内晶格取向的不同关系，探索了双外延的制备工艺，最后在超导ＹＢＣＯ薄膜上生长了ＮｂＮ保护膜。由Ｘ射线衍射、扫描电镜、透射电镜和俄歇谱仪对薄膜的结构和物理特性进行了分析。