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叙述了用平面工艺研制用于核物理实验和空间带电粒子探测的半导体Si探测器的制备工艺、技术,并给出了性能测试及应用的部分结果.
平面工艺半导体Si探测器的研制
【摘 要】
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叙述了用平面工艺研制用于核物理实验和空间带电粒子探测的半导体Si探测器的制备工艺、技术,并给出了性能测试及应用的部分结果.
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,兰州,730000
【出 处】
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2007年全国核仪器应用核探测技术核测量方法学术会议
【发表日期】
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2007年期
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