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采用气固相同晶取代法，以先老化后晶化合成含硼ZSM-5(B-ZSM-5)为母体，制备钛硅分子筛(Ti-ZSM-5)。系统研究不同取代温度、热处理温度对钛原子进入沸石骨架过程及Ti-ZSM-5催化性能的影响。经分析表明，低取代温度利于非锐钛矿的非骨架钛物种生成，高温热处理后，这类非骨架钛物种可部分转变为四配位骨架钛物种；高取代温度则更利于骨架钛物种直接生成。