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利用倾斜角磁控溅射能够制备出纳米棒状TCO薄膜，并具有好的光学透过率和电学性能，具有应用在硅异质结太阳电池上的良好潜力。
晶体硅异质结太阳电池高效减反射纳米电极初步研究
【摘 要】
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利用倾斜角磁控溅射能够制备出纳米棒状TCO薄膜，并具有好的光学透过率和电学性能，具有应用在硅异质结太阳电池上的良好潜力。
【机 构】
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中国科学院电工研究所;中国科学院大学,北京 中国科学院电工研究所
【出 处】
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第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2017年10期
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