【摘 要】
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主要讲述了ITO粉末爆炸压实的实验,实验中发现爆炸压实纳米ITO陶瓷粉末并经烧结处理获得的ITO靶材,其晶粒度比商业靶材小约一个数量级;并且发现,ITO在高温烧结的过程中,存在
【机 构】
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大连理工大学工程力学系(辽宁大连)
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主要讲述了ITO粉末爆炸压实的实验,实验中发现爆炸压实纳米ITO陶瓷粉末并经烧结处理获得的ITO靶材,其晶粒度比商业靶材小约一个数量级;并且发现,ITO在高温烧结的过程中,存在着严重的质量损失;在密封条件下烧结能够保证不发生质量的严重损失,并能在高温下烧结出高密度靶材块体.也展望了爆炸压实在特殊材料合成、制备中的应用.
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