【摘 要】
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采用脉冲激光沉积法制备了硅基纳米硅薄膜。用原子力显微镜和拉曼光谱研究了薄膜的表面结构与微观结构,经过不同温度退火处理的薄膜表面有硅晶产生,拉曼光谱显示薄膜为非晶硅与
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采用脉冲激光沉积法制备了硅基纳米硅薄膜。用原子力显微镜和拉曼光谱研究了薄膜的表面结构与微观结构,经过不同温度退火处理的薄膜表面有硅晶产生,拉曼光谱显示薄膜为非晶硅与晶硅的混合相结构。薄膜的光致荧光谱显示薄膜有蓝光和红光产生,蓝光与薄膜中Si02的中性氧缺陷有关,而红光与纳米硅的量子限制效应有关。
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