计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算

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【摘要】

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【作者】

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赵剑康春霞贾建援

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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静电力平行板电容器边缘效应

【基金项目】

：

国家自然科学基金联合基金资助(批准号:10476019)

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