强流离子源弧放电故障分析与处理

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结合离子源弧放电原理以及弧电源主回路设计结构对弧放电常见的故障进行了阐述和分析,提出了弧放电发生故障时的处理方式,通过实验结果验证了其方案的可行性和可靠性,从而保证了强流离子源弧放电的稳定和安全。
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