静电式MEMS光开关新器件设计开发流程

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【摘要】

：

在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构

【作者】

：

王凯赵新何维玮卢桂章

【机构】

：

南开大学

【发表日期】

：

2005年z1期

【关键词】

：

开发流程静电式光开关优化设计 MEMS

【基金项目】

：

国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA422200,2002AA404030);国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109);国家自然科学基金资助项目(60475038,60173061);高等学校骨干教师资助计划资助项目;天津市自然科学基金资助项目

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在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.

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