【摘 要】
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采用磁控溅射钛靶,以甲烷和氩气为前驱体,在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜.采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征,采用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复,在球-盘微摩擦试验机上考察了薄膜在不同湿度(相对湿度RH分别为0％、20％、40％、60％、80％)下与Si3N4球对摩的摩擦学行为.实验结果表明薄膜具有类富勒烯结构特征.计算出薄膜的硬度为20.9GPa,对应的弹性回复高达85
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000 中国科学院研究生院,北京 100039
【出 处】
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2008年中国机械工程学会年会摩擦学专题会议
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采用磁控溅射钛靶,以甲烷和氩气为前驱体,在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜.采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征,采用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复,在球-盘微摩擦试验机上考察了薄膜在不同湿度(相对湿度RH分别为0％、20％、40％、60％、80％)下与Si3N4球对摩的摩擦学行为.实验结果表明薄膜具有类富勒烯结构特征.计算出薄膜的硬度为20.9GPa,对应的弹性回复高达85％.薄膜的摩擦性能与湿度密切相关:在低的湿度下,FL-C薄膜呈现出极低的摩擦系数和磨损率,湿度增大,摩擦系数和磨损率均显著增高.
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