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移相干涉测量技术是一种非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围.环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许多抗振的方法,大体上分为主动技术和被动技术,本文从这两方面对干涉仪抗振技术的研究进展作了简单介绍.
光学测试中的抗振干涉技术
【摘 要】
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移相干涉测量技术是一种非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围.环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许多抗振的方
【机 构】
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南京理工大学电光学院,南京,210094
【出 处】
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2006年光学测量技术研讨会
【发表日期】
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2006年5期
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