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本报告将以IC制造装备的晶圆台方镜为切入点，围绕硬脆材料一复杂结构一光机功能一制造过程的映射关系，对整个超精密制造过程的一些关键科学问题提出看法和分析，如硬脆材料加工界面作用机理分析；硬脆材料确定性制造与缺陷修复的思考；多尺度复杂功能结构光学制造工艺统筹优化与精准控制等。介绍复旦大学上海超精密光学制造技术研究工程中心以及硬脆材料功能结构光学零部件样品的展示。