【摘 要】
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本文针对射频微机电(RFMEMS)分布式移相器的移相精度和反射损耗提出有效的优化方案,以X波段五位(5-bit)分布式移相器的单元电路(0°/11.25°移相单元)设计为例,优化得到高精
【机 构】
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电子科技大学; 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【基金项目】
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基金编号(9140A23060409DZ02)
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本文针对射频微机电(RFMEMS)分布式移相器的移相精度和反射损耗提出有效的优化方案,以X波段五位(5-bit)分布式移相器的单元电路(0°/11.25°移相单元)设计为例,优化得到高精度、低反射损耗的移相器。为了提高分布式移相器移相精度,在MEMS梁两端各串联一个MAM电容,通过电容值的精确设计得到高移相精度,得到的移相器在较大的工艺误差下,移相偏移小于1°。采用在共面波导地线处开槽的方法,有效减小了反射损耗。在所设计的中心频率10GHz下,分布式移相器两种状态下反射损耗均小于-20dB。这两种优化方案可以广泛使用在RFMEMS分布式移相器的设计之中。
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