空气分离技术中目前最广泛使用的方法是采用低温精馏的方法来制取氧、氩、氮以及其它的稀有气体。其原理即:先将气体混合物(空气)冷却冷凝至液体,然后根据氧、氮、氩各组分蒸发温度的不同,将其精馏分离。该方法技术成熟,经济性好,产品多而纯度高、易实现工业化和规模化生产。因此低温精馏方法是实现空气分离制取氧、氮、氩等产品最主要的方法。尤其近年来,技术创新的突飞猛进,使发展了百年的低温空气分离技术又焕发了青春。目前国内空分流程的基本形式是增压膨胀分子筛净化流程，并采用规整填料塔，全精馏提氩。同时，随着用户用氧量的增加，国内大型和特大型空分设备也相继研制成功并有部分装置成功开车，这些都标志着国内空分制造厂商已能在特大型空分领域上与国外著名空分厂商一较高下。本文分析了最近十年来空分工艺流程的演变，对液体设备进行了简述，主要介绍了全液体空分设备、双膨胀中压液化装置、大型低温液体贮槽等。