【摘 要】
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本文通过分析论证：薄膜的微结构与工艺条件密切相关.YBCO薄膜的Tc受到薄膜的微结构及薄膜的厚度制约.我们用不同的基片相同的实验方法制备了相同厚度的YBCO薄膜.用X射线衍射对
【机 构】
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微电子与固体电子学院,电子科技大学,成都,610054
【出 处】
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第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会
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本文通过分析论证：薄膜的微结构与工艺条件密切相关.YBCO薄膜的Tc受到薄膜的微结构及薄膜的厚度制约.我们用不同的基片相同的实验方法制备了相同厚度的YBCO薄膜.用X射线衍射对这些样品进行结构分析.薄膜微结构有明显的变化,实验表明STO与LAO基片比MgO基片生长的YBCO薄膜质量好,进一步证实了STO和LAO是制备YBCO薄膜基片的最佳选择.薄膜微结构对薄膜应力产生一定的影响,实验发现STO基片制得的薄膜产生了张应力,LAO和MgO制得的薄膜产生了压应力,而且MgO制得的薄膜出现了孪晶情况.
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