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富氧燃煤(氧气/二氧化碳)发电技术能直接、大规模捕集二氧化碳，能够直接回收并埋存，在世界范围内具有广泛的意义。空分设备的原料是大气，其主要的消耗是能源，对于采用低温精馏的成套设备，提取率和能耗成为评价成套设备经济指标和技术指标的主要参数。深冷空气分离制氧设备的最小分离功由装置制氧量和流程压力决定，在氧气量一定的情况下，氧气纯度降低，空气分离所需的最小分离功减小，制氧能耗降低。因此，对富氧燃烧等低纯度制氧装置，不能仍然按常规传统的制氧流程对待，而应该从精馏、流程组织等方面来挖潜，研究新型装置，以降低制氧功耗。对于富氧燃烧低纯度氧气装置，采用三塔精馏流程，氧提取率可达99％以上。