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PVD作为大面积镀膜的可靠方式，由于可控性能高，在硬质涂层行业也早已被广泛应用。优化磁场的设计以及新的脉冲方式电源给工艺优化提供了大量可靠并可控的手段，以及近年对绝缘基材沉积DLC的需求，此工艺被认定为目前最优的解决方案。
PVD硬质涂层的工艺技术
【摘 要】
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PVD作为大面积镀膜的可靠方式，由于可控性能高，在硬质涂层行业也早已被广泛应用。优化磁场的设计以及新的脉冲方式电源给工艺优化提供了大量可靠并可控的手段，以及近年对绝缘基材沉积DLC的需求，此工艺被认定为目前最优的解决方案。
【机 构】
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英国GENCOA(真科)公司
【出 处】
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珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会
【发表日期】
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2016年5期
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