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该文主要阐述了真空微电子压力传感器敏感薄膜研制实验，着重在双面光刻，各向异性腐蚀，腐蚀自停止等几个方面做了阐述。腐蚀的薄膜厚度可控制在１０－２０μｍ，薄膜均匀、光洁且平滑。
真空微电子压力传感器弹性薄膜研制
【摘 要】
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该文主要阐述了真空微电子压力传感器敏感薄膜研制实验，着重在双面光刻，各向异性腐蚀，腐蚀自停止等几个方面做了阐述。腐蚀的薄膜厚度可控制在１０－２０μｍ，薄膜均匀、光洁且平滑。
【机 构】
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科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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中国电子学会第六届学术年会
【发表日期】
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1996年期
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