【摘 要】
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用有限元法对Czochralski法(CZ法)生长的硅单晶中的热应力进行求解.假设晶体为轴对称的各向同性线弹性体.得到了在添加子结构--气体导流筒后,熔体流动在单纯浮力以及在浮力与
【机 构】
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河南科技大学车辆与动力工程学院,洛阳,471003重庆大学,动力工程学院,重庆,400044
【出 处】
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2006中国工程热物理学会传热传质学学术会议
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用有限元法对Czochralski法(CZ法)生长的硅单晶中的热应力进行求解.假设晶体为轴对称的各向同性线弹性体.得到了在添加子结构--气体导流筒后,熔体流动在单纯浮力以及在浮力与热毛细力共同作用下,气体流率对生长晶体中的热应力分布的影响,与无子结构比较表明,晶体中的热应力最大值增加了,同时发现,子结构的热物性对热应力有较大的影响.
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