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由于电力电子器件市场对酸腐蚀硅片的需求,如何制备光泽度较好的酸腐蚀硅片越来受到关注;酸腐蚀硅片的研究越来越受到重视,但关于酸腐蚀工艺对光泽度影响的研究却鲜有报道。本文讨论的酸腐蚀工艺对腐蚀片光泽度的影响,发现随着腐蚀厚度的增加酸腐片的光泽度越来越大;反复多次使用的腐蚀液腐蚀硅片的光泽度变小。
酸腐蚀硅片光泽度研究
【摘 要】
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由于电力电子器件市场对酸腐蚀硅片的需求,如何制备光泽度较好的酸腐蚀硅片越来受到关注;酸腐蚀硅片的研究越来越受到重视,但关于酸腐蚀工艺对光泽度影响的研究却鲜有报道。
【机 构】
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天津中环领先材料技术有限公司;
【发表日期】
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2004年期
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