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概述了微系统及微米/纳米技术的特性及发展,并论述了国内外在微系统研究方面所取得的成就.
微系统与微米纳米技术及其发展
【摘 要】
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概述了微系统及微米/纳米技术的特性及发展,并论述了国内外在微系统研究方面所取得的成就.
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年6期
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