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具有亚微米分辨率的软X射线全息术
具有亚微米分辨率的软X射线全息术
来源 :2000年全国场强激光物理会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fq1984
【摘 要】
:
报道了在合肥第二代同步辐射源上进行的同轴软X射线全息术.全息图用光刻胶记录,然后用原子力显微镜读出,并用数字法重现了原始图.重现图的分辨率达到了0.2微米.
【作 者】
:
陈建文
高鸿弈
陈敏
陆培祥
徐至展
蒋诗平
张新夷
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所,201800
【出 处】
:
2000年全国场强激光物理会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
亚微米
分辨率
射线
原子力显微镜
同步辐射源
重现
原始图
全息图
全息术
光刻胶
第二代
同轴
数字
合肥
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报道了在合肥第二代同步辐射源上进行的同轴软X射线全息术.全息图用光刻胶记录,然后用原子力显微镜读出,并用数字法重现了原始图.重现图的分辨率达到了0.2微米.
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