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本文采用压缩Ni粉并在氢环境中烧结还原处理的方法制备了多孔Ni支撑体；采用磁控溅射方法制备了Nb40Ti30Ni30合金膜，并利用XRD、SEM+EDS、TEM、DSC和纳米压痕等实验方法对膜性能进行表征，研究Nb40Ti30Ni30合金膜的成膜工艺。最后以Nb40Ti30Ni30合金为选择性渗透膜层，以多孔Ni为支撑体，采用磁控溅射方法制备了Pd/Nb40Ti30Ni30/Pd/多孔Ni支撑体复合膜，对其氢渗透性能进行测定，并与自支撑体渗透膜进行比较。