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会议论文
MOCVD尾气处理、回收纯化和循环使用
MOCVD尾气处理、回收纯化和循环使用
来源 :全国特种气体第十八次年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kaijiyu
【摘 要】
:
蓝光LED氮化镓晶片是通过MOCVD半导体外延设备生长得到的,生长过程中产生大量含氨尾气,本文主要介绍三种新型专利MOCVD尾气处理方法:催化转化法,微分吸收法和冷凝分离法,并做
【作 者】
:
吴彦敏
【机 构】
:
常州氮源光电科技有限公司,江苏常州 213164
【出 处】
:
全国特种气体第十八次年会
【发表日期】
:
2014年期
【关键词】
:
MOCVD
尾气处理
回收
纯化
有机金属化合物
蓝宝石衬底
催化转化法
外延设备
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蓝光LED氮化镓晶片是通过MOCVD半导体外延设备生长得到的,生长过程中产生大量含氨尾气,本文主要介绍三种新型专利MOCVD尾气处理方法:催化转化法,微分吸收法和冷凝分离法,并做了比较.三种方法处理后,尾气中氨含量大大低于国家规定的排放标准.
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