【摘 要】
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本文介绍了铒／镱共掺可溶性配合物材料的合成过程，并对其薄膜的折射率进行表征；分析铒／镱共掺可溶性配合物薄膜难以刻蚀的的原因，设计了倒脊型光波导结构；详细介绍了铒／镱共掺可溶性
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，130012
【出 处】
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第六届全国塑料光纤、聚合物光子学会议
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本文介绍了铒／镱共掺可溶性配合物材料的合成过程，并对其薄膜的折射率进行表征；分析铒／镱共掺可溶性配合物薄膜难以刻蚀的的原因，设计了倒脊型光波导结构；详细介绍了铒／镱共掺可溶性配合物光波导放大器的工艺制备过程，制备出倒脊形波导，对波导形貌进行表征，在长度为1．2cm的器件中测试得到较好的近场光斑以及2．22dB(合1．85dB／cm)的相对增益。
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