水冷态Ti-5553合金由β相和ω相组成，而ω相的表征方法以及该相在合金后续热处理中所发生的相变过程是钛合金中的关键基础问题之一。本文利用X射线光电子能谱(XPS)表征了水冷态Ti-5553合金中的ω相。实验通过测量Ti2p、Al2p、V2p、Cr2p和Mo3d电子层的电子结合能，分析了上述5中元素的在β相和ω相的化学状态，分析XPS精细谱后发现Ti2p和Mo3d电子层的电子与纯金属Ti和Mo的电子能谱峰型接近，证明在β相和ω相中上述元素的电子结合能相同，而与纯金属Al2p、V2p和Cr2p电子结合能谱相比，水冷态Ti-5553合金中A12p、V2p和Cr2p电子结合能能谱出现了非对称峰型，证明A12p、V2p和Cr2p电子结合能在β相和ω相中有所差异，反之利用两种元素2p电子结合能再两相中的差异可以直接地表征出ω相的存在。