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本文主要介绍了采用掠射X射线衍射分析了分别注Ti和注Cu的α-Al<,2>O<,3>样品表面物相变化,并用四探针仪和扫描电子显微镜分析了样品表面电阻和形貌注入剂量的变化.
Ti、Cu离子注入Al<,2>O<,3>表面特性分析
【摘 要】
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本文主要介绍了采用掠射X射线衍射分析了分别注Ti和注Cu的α-AlO样品表面物相变化,并用四探针仪和扫描电子显微镜分析了样品表面电阻和形貌注入剂量的变化.
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
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2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2004年期
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