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会议论文
离子束复合真空镀膜机的研制和应用
离子束复合真空镀膜机的研制和应用
被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxiaofan0303
【摘 要】
:
本文介绍一台用于汽轮机叶片表面强化的离子束复合镀膜生产设备.该设备配有三种大面积考夫曼离子源和两套磁控溅射系统,通过开发和实践证明该设备及其工艺具有广阔的应用前景
【作 者】
:
朱启良
汪亮明
白玉兰
王锦辉
过骐千
【机 构】
:
北京机械工业自动化研究所;
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
汽轮机
叶片
离子源
磁控溅射
离子束
镀膜
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本文介绍一台用于汽轮机叶片表面强化的离子束复合镀膜生产设备.该设备配有三种大面积考夫曼离子源和两套磁控溅射系统,通过开发和实践证明该设备及其工艺具有广阔的应用前景。
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